Азотирование кремния в аммиаке

03-04-2024

+++фильтрация на керамических фильтрах+++

---получаемый TiN представляет собой порошок высокой степени чистоты---

Нитрид отделяется электростатическим осаждением или фильтрацией на керамических фильтрах от хлора, НС1 и не прореагировавших реагентов. Получаемый TiN представляет собой порошок высокой степени чистоты с размерами частиц 0,1—0,6 мкм.

Нитрид титана можно также получать взаимодействием тетрахлорида титана со смесью водорода и азота. Обычно этот метод используется для получения покрытия TiN на различных подложках (графит, вольфрам). Для повышения производительности метода применена низкотемпературная или СВЧ-плазма (5—10 • 103 °С), а также плазма постоянного тока. Регулируя параметры процесса (скорость подачи реагентов, температуру плазмы, скорость охлаждения, соотношение компонентов), можно получать порошки различной степени кристалличности и размеров 0=Ю,О1 мкм). Газом-носителем для TiCl4 может служить смесь азота с водородом или с аргоном. Разложение аминохлоридов титана TiCl4 • nNH3 (п = 4, 6, 8) при температурах 400—800 °С приводит к образованию соединений титана с азотом, содержащих недостаток титана в решетке (TijN, где* = 0,85... 0,95). При повышении температуры разложения аминохлоридов их состав все более приближается к стехиометрическому, достигая его при 1400—1600°С.

Нитрид титана может быть также получен термическим разложением в азотсодержащей атмосфере имида или амида титана, которые получают реакцией между галогенидом титана и жидким аммиаком, растворенным в жидком органическом растворителе.