Химическое осаждение из парогазовой фазы

Раздел: Статьи

Химическое осаждение из парогазовой фазы осуществляется аналогичными методами, при которых, однако, протекают химические реакции в паровой фазе или на поверхности обрабатываемой детали. Реакции могут проходить и в смеси газообразных веществ, вводимых в рабочую камеру установок.

В зарубежной литературе под физическими методами формирования покрытий из парогазовой фазы (PVD) подразумевают те, которые реализуются в вакууме при сравнительно невысоких температурах (200—600 °С) с химическим или без химического взаимодействия паровой среды с подложкой, а под химическими (CVD) — только те, при которых в предварительно подготовленной (после вакуумирования рабочей камеры или без него) парогазовой реакционной смеси протекают химические реакции, приводящие к формированию покрытия. Температуры осуществления Р/D-методов на 500—600° ниже, чем CVD.

При разработке технологии нанесения покрытий из газовой или паровой фазы приходится решать задачи получения равномерных покрытий одинакового состава на изделия сложной формы или нескольких изделий одновременно. Обобщены сведения по разработкам конструкций газовой камеры, реактора и определению оптимальных параметров процесса, обеспечивающих стабильную скорость осаждения, равномерность состава и толщины осадка. Необходимым условием является достаточная скорость подвода газовых реагентов к поверхности осаждения. Для этого используются различные обтекатели, вставки, дефлекторы. Может применяться также газ-разбавитель, но при этом вносятся примеси. Следует отметить, что чрезмерное увеличение скорости может переохладить поверхность осаждения, в результате ухудшить состояние осадка и степень извлечения конечного продукта в виде покрытия.


Смотрите также:
 Конструкция узла нагрева
 Получение оксидной и смешанной инструментальной керамики
 Снижение вязкости жидкой фазы
 Эффективность процессов металлообработки
 Физико-химические основы технологии инструментальной керамики

Добавить комментарий:
Введите ваше имя:

Комментарий:

Защита от спама - решите пример: